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上约有 2 项符合控片检测系统的查询结果， 以下是第 1 - 2 项。 （搜索用时 0.39 秒）
KLA-Tencor 公司Surfscan? SP2XP是一套专供集成电路 (IC) 市场采用的全新控片检测系统，该系统对硅、多晶硅和金属薄膜上的缺陷灵敏度更高，在按缺陷类型和大小来分类方面具有更强能力。其特性还包括真空承载装置和业界最佳的生产能力。新系统还提供…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-09/2008929095312.htm -- 2008-10-1 0:00:00
KLA-Tencor 公司日前推出了 Surfscan® SP2XP，这是一套专供集成电路 (IC) 市场采用的全新控片检测系统，该系统是根据去年在晶片制造市场上推出并大获成功的同名姊妹机台开发而成。全新的 Surfscan SP2XP 对硅、多晶硅和金属薄膜上的缺陷灵敏度更高，且…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-09/200895111831.htm -- 2008-9-5 0:00:00
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