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半导体设备制造商Axcelis Technologies Inc.在进入快速热处理（rapid thermal processing，RTP）设备市场后经历了一个惨淡的季度，无奈之下决定裁员。 Axcelis不久前进入RTP市场，随后第三季度收入报1.076亿美元，较第二季度的1.101亿美元有所减少。此外，第三…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-11/2007115030345.htm -- 2007-11-5 0:00:00
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Mattson Technology, Inc. , a leading supplier of advanced process equipment used to manufacture semiconductors, today announced that a leading global semiconductor manufacturer selected its Millios™ flash rapid thermal processing (fRTP) system to develop advanced millisecond annealing applications for current and f…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-07/2007718044900.htm -- 2007-7-18 0:00:00
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Applied Materials公司日前宣布其第250套Applied Vantage快速热处理设备（RTP）已经出货。这套业界最具生产力的快速热处理设备被全球每一家300mm晶圆制造厂选用，拥有创新设计的Applied Vantage设备生产效率可达90%，每小时吞吐量达95片晶圆。 Applied公…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-03/2007329103426.htm -- 2007-3-29 0:00:00
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自对准硅化物通常用于降低多晶硅栅的薄层电阻（Rs）和硅源/漏（S/D）区域的接触电阻。对于90 nm以下的器件，S/D区域还要求是重掺杂的超浅结，以抑制短沟道效应并尽量减小结的Rs。Ni的硅化物（NiSi）与其它的常见硅化物（例如TiSi2和CoSi2）相…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-03/2007310105639.htm -- 2007-3-13 0:00:00
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快速热处理（Rapid thermal processing, RTP）是将晶片快速加热到设定温度，进行短时间快速热处理的方法，热处理时间通常小于1~2分钟。过去几年间，RTP已逐渐成为先进半导体制造必不可少的一项工艺，用于氧化、退火、金属硅化物的形成和快速热化…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2004-4/2006112143047e5d2d.htm -- 2004-4-20 0:00:00
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Radiance Vantages是一种受推荐的双室快速热处理 (RTP)系统。适用于直径为300 mm圆片进行大产量芯片制造。公司的Radiance 300 mm RTP技术和最新型的主流生产线平台结合在一起，主要用于退火，包括：离子注入后的退火、瞬时退火和干法快速热氧化。…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-7/2006112143044a7411.htm -- 2003-3-4 0:00:00
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