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上约有 3 项符合金属硅化物的查询结果， 以下是第 1 - 3 项。 （搜索用时 0.562 秒）
　　金属硅化物在VLSI/ULSI器件技术中起着非常重要的作用，被广泛应用于源漏极和硅栅极与金属之间的接触。其中自对准硅化物（self-aligned silicide）工艺已经成为近期的超高速CMOS逻辑大规模集成电路的关键制造工艺之一。它给高性能逻辑器件的制造提…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2008-08/2008830073707.htm -- 2008-9-2 0:00:00
简介 　　由于高掺杂多晶硅具耐高温以及与传统制程兼容的优点，早期用以作为金属半导体场效应管栅电极的材料。但因其电阻值大于 400m?cm，在次微米组件上被电阻值低一个数量级以上的多晶硅-金属硅化物（polycide）取代。所谓多晶硅-金属硅化物是指…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-12/20051227023056.htm -- 2005-12-27 0:00:00
简介 　　由于高掺杂多晶硅具耐高温以及与传统制程兼容的优点，早期用以作为金属半导体场效应管栅电极的材料。但因其电阻值大于 400m?cm，在次微米组件上被电阻值低一个数量级以上的多晶硅-金属硅化物（polycide）取代。所谓多晶硅-金属硅化物是指…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-7/200611214305208cbd.htm -- 2005-7-8 0:00:00
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