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FLANDERS, NJ (September 17, 2007)—Rudolph Technologies, Inc. (NASDAQ: RTEC), a worldwide leader in high-performance process control metrology, defect inspection and data analysis for the semiconductor manufacturing industry, announced today that two 300 mm fabs have installed Rudolph's DMSVisionT…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-09/2007918115344.htm -- 2007-9-18 0:00:00
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http://www.sichinamag.comhttp://www.sichinamag.com/Eletter/SI/20070723.html -- 2007-7-23 0:00:00
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半导体业内领先的生产、失效分析和测试方案供应商Inovys Corporation日前宣布成立技术咨询委员会（Technical Advisory Board），旨在向Inovys及其客户提供生产方面的专业建议和决策。该部门将与Inovys管理层密切联系，发布关于迅速发展的半导体生产业的观…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-07/200773110703.htm -- 2007-7-3 0:00:00
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当晶圆厂转向300mm 、130纳米和90纳米工艺，并随着新的材料和工艺方法的引进，都为成品率管理带来独特的挑战和机会，那就是如何确保300mm晶圆缺陷计划的新重点。 晶圆厂向300mm转型面临的技术挑战 薄膜的平面，容易受到微尘颗粒、剥…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-09/200699015901.htm -- 2006-9-9 0:00:00
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document.write("") 林光启，SMIC 产品处/ YMS 经理 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司1．强大和有效的成品率管理系统是成品率有效的检测和root cause的及时判断的有效保证。2．对设备的分析需要从数据库中抓取数据和其状态分析进行3．从客户反馈、fa…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-06/2006615103813.htm -- 2006-6-15 0:00:00
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随着半导体工艺的快速发展，晶圆直径已达到了300毫米，线宽在减小，生产晶圆的材料数在增加，低介电常数材料及铜导线技术日益普及，全球半导体产业对成品率控制越来越重视。KLA-Tencor CEO Kenneth Schroeder指出，集成电路生产厂花费在成品率…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-8/2006112143044ae59b.htm -- 2003-5-1 0:00:00
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