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上约有 1 项符合FOUP的查询结果， 以下是第 1 - 1 项。 （搜索用时 0.468 秒）
　　F300 Autopod 300mm晶圆专用前端开启式统一规格Pod（front-opening unified pod，FOUP）为晶圆在加工过程中提供了很好的保护作用。它由阻燃材料PEI构成，具有额外的防火功能；清除功能使晶圆免受氧气、水蒸气和气体污染物的损害作用；通向FOUP开…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-11/2006112143045d4274.htm -- 2003-9-10 0:00:00
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