测量设备供应商Nanometrics公司日前宣布针对光学CD测量（Optical CD，OCD）推出一款最新设备及软件产品——NanoStation系统配置了新一代严格耦合波分析（RCWA）OCD软件。 NanoStation系统拥有最领先的多核CPU技术以及Nanometrics公司先进的ADAP…

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-10/2007108032111.htm -- 2007-10-8 0:00:00

document.write("") 张赞彬，高级技术总监KLA-Tencor1．技术的创新引入了大量的新材料，新材料的整合引入新的缺陷，对工艺检测工具提出了更高的要求。2．光罩复杂程度在不断增加，成本也水涨船高。增强的光罩大量增加了系统缺陷，需要对工艺控制上进…

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2006-06/2006615102710.htm -- 2006-6-15 0:00:00

为了工艺控制，先进测量技术可以被分解入工艺集成，提供反馈和预见的能力，从而改善工艺和减少在工艺控制中浪费的晶圆数量。独立工具基本上用来提供反馈而不是预见，例如CD-SEM，断面SEM，双束流等等。 　　随着新结构、具有挑战性的高宽比和…

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-12/20051229012045.htm -- 2005-12-29 0:00:00

　　摘要：传统的测量技术，比如特征尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）、原子力显微镜（AFM）、椭偏仪、散射仪和其它一些设备，显示出有希望不断完善和能满足极端的检测、测量和测试的需求，并为45纳米及更先进的技术所应用。建模的能力也将不得…

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-10/2006112143053fcdbe.htm -- 2005-10-10 0:00:00

　　The FB Series is a high-performance temperature/process controller for autotuning applications. It features sample time selections of 50, 100 and 250 msec, depending on the user's application. The series has universal input, up to seven digital inputs, four digital outputs and two communications ports. A remote setpoint input and …

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-9/2006112143052ae2af.htm -- 2005-9-19 0:00:00

　　FB 系列是应用于自动调节的一款高性能温度/工艺控制器。根据用户要求，它可以选择50、100和250毫秒的抽样时间。FB 系列有七位通用输入端口，四位输出端口和两个通讯端口。具有标准配置的远程定点输入和多存储区。　　RKC Instrument, www.rkcinst-…

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2005-5/200611214305201b48.htm -- 2005-5-14 0:00:00

摘 要：　　当器件制造商和OEM面对不断严格的工艺控制要求时，整合测量正逐渐成为先进工艺控制（Advanced process control, APC）的关键技术。整合测量技术已经在CMP、CVD、光刻和蚀刻等工艺中逐步推广和应用，它可以为工艺设备及时提供正向控制和…

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2004-9/2006112143048ca2da.htm -- 2004-9-27 0:00:00

SEZ Group 由于其300mm设备通过了International SEMATECH(ISMT)集成和自动化标准测试而获得了两个奖项。According to Steven Fulton, project manager I&A Software Testing, Manufacturing Productivity Division of ISMT, one of the consortium's highest priorities is helping its member companies and …

http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2003-10/2006112143045c881c.htm -- 2003-10-9 0:00:00