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上约有 2 项符合边缘缺陷的查询结果， 以下是第 1 - 2 项。 （搜索用时 0 秒）
　　与浸没液、光刻胶和顶部涂层的相互作用，以及边缘水珠去除工艺有关的缺陷都会影响到工艺成品率。自动边缘检查揭示出几种浸没式光刻所特有的缺陷模式。 　　自动边缘检测揭示出几种浸没式光刻所特有的缺陷模式。与浸没液的行为、光刻胶和顶部…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-06/2007615102930.htm -- 2007-6-19 0:00:00
　　边缘缺陷率已成为器件制造的重要问题，然而相当多的器件制造商认为，目前对晶圆边缘进行检测的能力还远远不够。虽然有些解决方案的表现还不错，但是它们似乎主要针对的是晶圆制造商，重点关注的是晶圆上的碎片和裂缝等物理损伤。 　　而IC制…
http://www.sichinamag.comhttp://article.sichinamag.com/2007-02/200728102829.htm -- 2007-2-9 0:00:00
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