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博弈的光刻技术面临的难题
两天的先进光刻技术学术报告后,在Sematech Litho Forum举行的小组讨论会上,与会的专家们针对包括极紫外光刻技术(EUV)、双重成像技术、高折射率浸没式光刻技术、纳米压印技术以及无掩膜版电子束成像…
技术文章
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Intel:2011年前EUV无法在22nm大展拳脚
Intel逻辑技术研发部(Hillsboro, Ore.)工艺架构和集成主管Mark Bohr介绍说,当开始计划生产22nm的微处理器产品时,Intel Corp. (Santa Clara, Calif.)认为在2011年前极紫外(EUV)光刻技术都不会是…
EUV掩膜版清洗—Intel的解决之道
对于极紫外(EUV)光刻技术而言,掩膜版相关的一系列问题是其发展道路上必须跨越的鸿沟,而在这些之中又以如何解决掩膜版表面多层抗反射膜的污染问题最为关键。自然界中普遍存在…
光刻工艺面临量测挑战
基于国际半导体技术发展路线(ITRS)的预测,如果半导体工业不断提升其产品的复杂度和密集度,那么到2022年,量测技术将面临史无前例的困难和挑战。
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三星电子拟收购Sandisk
据Edaily新闻网援引行业管理人士的消息称,韩国三星电子(Samsung Electronics Co., )正寻求收购美国的晟碟(…[
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降低硅太阳能电池成本的方法之一是尽量减少高质量硅材料的使用量,如薄膜太阳能电池。不过这种太…[
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ATE业并购不断 Teradyne斥资2.5亿美元收购Eagle Test
Teradyne Inc.(TER)周二表示,将斥资2.50亿美元收购芯片测试设备供应商Eagle Test Systems Inc.(EGLT)。[
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太阳能产业在美国蓬勃发展
得益于政府的扶持,企业的赞助和社会舆论的正面导向,近几年美国的太阳能产业以指数级的速度快速…[
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薄膜光伏技术覆盖更宽的光谱范围
尽管薄膜硅太阳能电池的转换效率并不能和当今的主流技术相媲美,然而一旦考虑每千瓦(特)小时能量的…[
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为答谢您对我们调查工作的支持与帮助,我们特为前100名完整答题的读者提供一份价…
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针对38nm存储器和32nm逻辑芯片产品的量产化制造,荷兰光刻巨头ASML日前展示了其Twinscan XT:1950i光刻系统,采用1.35NA(数值孔径)的镜头,通过提高套刻精度、分…
电子束光刻工具
nB3是一款高性能电子束光刻工具,主要用于满足小规模产量的200 mm晶圆半导体器件。该工具融合了55 MHz束偏转、快速束设置、杰出的机械刚度和快速机台移动功能,能…
涂胶/显影系统
RF3T是一款转速可达200 wph的涂胶/显影轨道系统,主要用于全程光刻应用。该系统的特征是额外的平行工艺模块以及更高的晶圆周转效率。
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在线研讨会:后道互连工艺技术…
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第五届晶圆清洗技术研讨会
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PTC将为机电协同设计带来更强的兼容性
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Raytex,自动晶圆检测非常关键
对于当今半导体晶圆制造产业提高成品率和降低成本的要求来说,自动晶圆检测无疑是非常关键的。
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TD,请不要拿老百姓说事;创毅视讯CMMB核心芯片被多家移动终端采用;坤锐电子U…
20080814:电子中国
中国版“瓦圣纳协议”要不得;博通集成5.8-GHz无线语音芯片累计出货1000万颗;中国电…
20080825:IC设计
异步DSP核心设计:更低功耗,更高性能;消费IC:可靠性设计;增强建模和仿真能力…
20080818:检测与测量
线宽量测从容面对32nm;ATE应对90nm及以下节点良率问题;用于先进栅叠层的在线光…
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