1 本 周 专 题:设备与材料
责任编辑:贾秀华| 2008年7月2日 星期三
2 专题文章
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作者:Aaron Hand, Executive Editor -- Semiconductor International
来自新加坡材料研究和工程研究所(IMRE)的科学家开发了一种阻挡层薄膜,可用于像低成本太阳能电池、柔性显示器和有机发光二极管(OLED)中,显著提高这类塑料电子器件的寿命。同当前其他方案相比,这种新技术可将器件抵抗潮湿的能力提高1000倍…… |
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作者:Peter Singer, Semiconductor International主编 Sematech公司制定了一项计划,研究MOSFET沟道Si(硅)的替代材料。Sematech公司前道工艺(FEP)部门将重点研究SiGe和Ge作为沟道材料的可用性,并重视工艺技术的开发,希望在不牺牲可靠性的前提下增强迁移率……
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作者:Peter Singer, Semiconductor International 主编
工作于美国商务部国家标准和科技机构(National Institute of Standards and Technology, NIST) 中子研究中心 (NCNR)科学家联合田纳西大学 (UT) 和橡树岭国家实验室(Oak Ridge National Laboratory,ORNL)的物理学家们发表报告,有力证明了磁的波动是配对电子通用机理的关键,能使高温超导体中的电流无阻抗通过…… |
3技术前沿

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作者:Mohith Verghese,ASM America Inc.;Scott Battle,Jeff Roeder,ATMI Inc.
在生产中引入高介电常数绝缘材料/金属栅电极结构,需要采用全新的制造技术,前驱物和输运系统推动了铪基材料栅极绝缘层的应用。ALD技术也促进了新一代栅电极材料的推广和应用…… |
X 业界新闻
< 产品介绍
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新兴测量需求解决方案领导者美国吉时利(Keithley)仪器公司,日前宣布了一套信号生成与分析工具,扩展了其射频测试功能,实现了对WiMAX信号的测试。吉时利最新的测试方案建立在新型硬件平台基础上,降低增加支持新信号标准的难度和成本……全文
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Pall UltiKleen Excellar ERL 是最新的非去湿PTFE膜的化学品过滤器。该产品具有20nm的颗粒去除能力,满足小于65nm工艺节点的先进制程需求。超大的过滤面积设计,使产品具有较大的流量特性和更长的使用寿命,降低设备运营成本(CoO)。Pall UltiKleen 技术保证产品自身具有极高的洁净度……全文
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内嵌的Mentor SF3 是一种单一负载端口 300 mm 的质量计量工具,该工具可监测任何一个流程步骤之后发生的所有产品晶圆的质量变化,从而快速确定该设备制造的制程是否如预期般顺畅进行。该工具使流程变化在沉积、湿蚀、干蚀或是化学机械研磨(CMP)制程后能够被可靠精确地测定……全文
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