Practical Solution for 193nm Reticle Haze
193nm掩膜版雾状缺陷解决方案
Zhang Xue Song,Field Application Supervisor,Entegris China.
张雪松，Entegris中国区产品应用技术主管，2004年加入Entegris；之前曾任职于飞利浦、松下和Thermalwave公司；曾获沈阳科技大学电子工程学士学位。
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