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Panel Discussion：突破深亚微米工艺下成品率提升障碍

   2006-06-15   点击:208












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4、Jay Orbon：90和65纳米技术面临的成品率挑战
5、王喜均：帮助提高成品率的材料
6、张赞彬：亚微米时代工艺控制
7、黄启伦：TSMC成品率提升方法
8、林启发：形成高成品率Salicide的先进去钴工艺
9、林光启：SMIC成品率管理系统
10、Panel Discussion：突破深亚微米工艺下成品率提升障碍






















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